目前,行業中單多晶硅塊及硅片的生產環節基本都是利用多線切割方式實現的,即高速運行的鋼線攜帶含有SiC顆粒的砂漿把硅錠切割成硅塊和把硅塊切割成硅片,可想而知完成切割的硅塊和硅片表面上沾滿了砂漿,所以要進行后續加工,需要用大量的水進行噴淋沖洗操作,把沾滿砂漿的硅塊和硅片進行預處理,用水量極大。
采用硅片清洗廢水處理方法中的廢水循環利用法與系統,以減小現有技術中單多晶硅片制造需要消耗大量自來水的問題。
1、水質分類,合理優化資源
污妖王漫画app 根據多晶硅片制造過程中各用水環節對水質的要求,將用水環節分成高等水質用水環節、中等水質用水環節、和低等水質用水環節。將高等水質用水環節排出的廢水進行凈化處理,然后作為中等水質用水環節和低等水質用水環節的用水。
2、增加沉淀池和過濾器,對水要求進行劃分
根據本方法的另一個方面,還提供了一種廢水循環利用系統,應用于單多晶硅片制造,該系統包括:第一級沉淀池,第二級沉淀池,過濾器。
3、通過傳感器增加靈敏度
本方法提供的系統,還包括控制器,濾后儲水槽內由高至低設置有第一高液位傳感器、第一中液位傳感器和第一低液位傳感器三個液位傳感器。
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